近日，成都沃特塞恩电子技术有限公司自主研发生产的固态微波远程等离子体源（Solid State Microwave Remote Plasma System）产品及3kW固态微波源（Solid State Microwave Generat...

近日，成都沃特塞恩电子技术有限公司（以下简称：沃特塞恩）申请的发明专利“一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法”（专利号：ZL 2023 1 0308224.8）成功获得国家知识产权局授权。发明专利标志着一个企业的自主创新能...

近日，成都沃特塞恩电子技术有限公司（以下简称：沃特塞恩）申请的发明专利“波导管组件及微波设备”及“一种微波等离子体化学气相沉积设备” 均成功获得国家知识产权局授权。

“第七届集成电路产业技术创新奖”（IC创新奖）颁奖典礼。沃特塞恩的固态微波远程等离子体源（RPS）系统凭借先进的设计、优秀的性能荣幸获得第七届“IC创新奖”-成果产业化奖。该奖项肯定了该项目在集成电路技术创新和产业化方面取得的突出业绩。

沃特塞恩携公司最新射频电源和固态微波远程等离子体源（RPS）产品亮相SEMICON China 2024展会现场，展示了公司在半导体零部件制备技术方面的最新进展。

2024年3月15日，上海科技大学副校长、上海硬X射线自由电子激光装置（SHINE）项目领导小组副组长丁浩一行莅临成都沃特塞恩电子技术有限公司参观交流，沃特塞恩总经理李俊宏、副总经理凌燕、研发总监李东亚等陪同接待。